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半導體超純水設備工藝流程

來源:天津純水設備??????2020/9/23 10:31:34??????點擊:
天津純水設備http://www.zjzqty.cn1、預處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水點(18MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

  2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.20.5μm精密過濾器→用水點(18MΩ.CM)(最新工藝)

  3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.20.5μm精密過濾器→用水點(17MΩ.CM)(最新工藝)

  4、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.20.5μm精密過濾器→用水點(15MΩ.CM)(最新工藝)

  5、預處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水點(15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

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